氦氖激光器是使用時(shí)間早，技術(shù)成熟，應(yīng)用的激光器之一。氣體原子具有確定的能級(jí)結(jié)構(gòu)，在外界的電子激發(fā)后發(fā)生能級(jí)躍遷產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，產(chǎn)生受激輻射，發(fā)出激光。因此氦氖激光波長(zhǎng)是純凈的單色光，線(xiàn)寬極窄，波長(zhǎng)誤差只有幾納米，因此具有極大的相干長(zhǎng)度。有些靠能帶躍遷發(fā)光的激光器如LD的單色性與相干性無(wú)法與之相比。原子能級(jí)結(jié)構(gòu)是確定的，因此激光不受溫度波動(dòng)影響。加上諧振腔的作用保障了激光輸出具有良好的準(zhǔn)直性，發(fā)散角只有幾個(gè)毫弧度。在需要良好單色性、相干性和準(zhǔn)直性的場(chǎng)合，特別是精密測(cè)量領(lǐng)域，氣體激光器具有不可動(dòng)搖的地位。 氦氖激光器主要缺點(diǎn)是需要高壓直流供電，需要較高的技術(shù)含量，與ＬＤ相比成本較高。